ArFレジストの 測定再現性計算プログラム

CD-SEMによるArFレジストのStatic/DynamicCD値を解析し、測定再現性や計測値の妥当性を検証する


ソフト詳細説明

GUIから Static/Dynamic繰り返し測定した CD値を読み込み Y= a + b*X + c*( exp( d/c*x ) -1 ) の式にFittingし解析するツールです。簡単なグラフ表示機能も用意しました。詳細は、ArF-Program.pdf、ReadMe1st.txt を御覧ください。

動作環境

ArFレジストの 測定再現性計算プログラムの対応動作環境
ソフト名:ArFレジストの 測定再現性計算プログラム
動作OS:Windows 7/Vista/XP/2000
機種:IBM-PC
種類:フリーソフト
作者: (恒) 

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