CD値計算プログラム

CD-SEMの画像を利用して、種々のアルゴリズムでCD値を計算

ソフト詳細説明

SEMの画像からパターン幅を計算するプログラムです。CD-SEMに搭載されているアルゴリズムよりもノイズに強く、弱いフィルターでも動作します。同時に10種類のアルゴリズムで計算し、ノイズフィルターも選択できます。バッチ処理に対応し複数の画像を一度に処理できます。EdgeRoughnessの計算やアルゴリズムの安定性を比較する機能もあります。

動作環境

CD値計算プログラムの対応動作環境
ソフト名：CD値計算プログラム
動作OS：Windows 7/Vista/XP/2000
機種：IBM-PC
種類：フリーソフト
作者： (恒) 

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