CD-SEMによるArFレジストのStatic/DynamicCD値を解析し、測定再現性や計測値の妥当性を検証する
GUIから Static/Dynamic繰り返し測定した CD値を読み込み Y= a + b*X + c*( exp( d/c*x ) -1 ) の式にFittingし解析するツールです。簡単なグラフ表示機能も用意しました。詳細は、ArF-Program.pdf、ReadMe1st.txt を御覧ください。
| ソフト名: | ArFレジストの 測定再現性計算プログラム |
|---|---|
| 動作OS: | Windows 7/Vista/XP/2000 |
| 機種: | IBM-PC |
| 種類: | フリーソフト |
| 作者: | (恒) |