CD-SEMの画像を利用して、種々のアルゴリズムでCD値を計算
SEMの画像からパターン幅を計算するプログラムです。CD-SEMに搭載されているアルゴリズムよりもノイズに強く、弱いフィルターでも動作します。同時に10種類のアルゴリズムで計算し、ノイズフィルターも選択できます。バッチ処理に対応し複数の画像を一度に処理できます。EdgeRoughnessの計算やアルゴリズムの安定性を比較する機能もあります。
| ソフト名: | CD値計算プログラム |
|---|---|
| 動作OS: | Windows 7/Vista/XP/2000 |
| 機種: | IBM-PC |
| 種類: | フリーソフト |
| 作者: | (恒) |